Equipements

Enceinte de pulvérisation cathodique magnétron radiofréquence.

Moyen de contrôle in situ : spectrométrie d’émission optique.

Caractérisation morphologique et structurale des couches minces : DRX, MEB, profilométrie, analyse spectroscopiques (IRTF, RBS, RAMAN)

Caractérisation optiques, mécaniques et électriques : spectroscopie UV-visible, ellipsométrique, nano-indentation, mesures courant-tension et capacité-tension.