Equipements
Microsonde-MEB

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Microsonde et MEB sont deux techniques complémentaires : l’imagerie, les cartographies d’éléments majeurs et les repérages en analyse semi-quantitative sont effectués en routine sur le MEB, sur échantillons polis ou non, alors que les analyses quantitatives ponctuelles ou les cartographies d’éléments majeurs et en trace sont réalisées avec une précision optimale avec la microsonde sur échantillons polis.

La microsonde électronique est équipée de quatre spectromètres WDS et de douze cristaux de diffraction, ce qui lui donne une grande souplesse d’utilisation et une vitesse de travail élevée. D’autre part, cet appareil peut être utilisé en différé (travaux de nuit).

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Microsonde électronique
CAMECA SX100

La microsonde électronique permet l’analyse ponctuelle et de façon parfaitement localisée de tout matériau solide poli : échantillons géologiques, verres, céramiques, métaux... Elle permet également d’obtenir des images électroniques en électrons secondaires ou rétrodiffusés ainsi que des cartes de répartition chimique (voir les applications).

Le MEB permet l’imagerie en électrons secondaires et rétrodiffusés, ainsi qu’en cathodoluminescence (voir les applications). La chambre de grand volume et la platine motorisée autorisent l’observation d’échantillons de grande taille. L’utilisation optionnelle en pression variable (mode LV, sous vide partiel de 1 à 130 Pa), permet de travailler pour des besoins spécifiques sans métallisation de l’échantillon ou sur des échantillons sensibles au vide.

Le système de micro-analyse EDS est un détecteur de type silicon drift detector (SDD) d’une surface active de 30 mm2 et une fenêtre supra light element. Le système Esprit gère les analyses chimiques qualitatives et semi-quantitatives, l’acquisition de profils de concentration et de cartographies chimiques (voir les applications).

Le détecteur de cathodoluminescence OPEA est sensible sur une fenêtre spectrale de 170 à 2000 nm.

Le détecteur d’électrons rétrodiffusés (EBSD) Bruker est constitué d’un écran phosphorescent couplé avec une caméra CCD de résolution 1600x1200. Il est également équipé de détecteur d’électrons diffusés et rétrodiffusés qui permet de faire une image en contraste d’orientation. Le système Esprit gère également les cartographies d’orientation et d’identification de phase